PUKYONG

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PUKYONG Repository 대학원 기계공학과

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Abstract: 본 논문에서는 turning machine을 이용하여 미세 복합패턴을 제작하고, 보다 효율적인 디버링 방법으로 자기연마 디버링을 제시하였다. 자기연마 디버링을 활용하여 미세 복합패턴의 형상정밀도를 향상시키고자 하였다. 또한, 반응표면기법을 이용하여 패턴의 높이에 대한 예측식을 도출하고, 공정변수의 최적화를 하고자한다.

URI: https://repository.pknu.ac.kr:8443/handle/2021.oak/13107
http://pknu.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000002229090

Table Of Contents: 목 차

Nomenclature
ⅲ
List of tables
ⅳ
List of figures
ⅴ
List of photographs
ⅵ

1. 서 론
1
1.1 연구배경 및 필요성
1
1.2 국내외 연구동향
3

2. 이론적 배경
5
2.1 미세 복합패턴
5
2.2 자기연마 디버링
7
2.3 Box-Behnken 계획법
10

3. 미세 복합패턴의 기본 특성 평가
11
3.1 실험장치 및 방법
11
3.2 미세 복합패턴 및 버의 정의
16
3.2.1 미세 복합패턴의 형상
16
3.2.2 버의 생성 원리
23
3.3 미세 복합패턴의 자기연마 디버링 조건선정
25

4. 실험 결과 및 고찰
27
4.1 미세 복합패턴의 가공특성평가
27

4.2 정밀도 향상을 위한 최적화
36
4.3 검증 실험 및 고찰
46

5. 결 론
51

REFERENCES
52
ABSTRACT
58

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