High Frequency Ultrasonic Transducer for Industrial and Medical Imaging
- Alternative Title
- 산업 및 의료 영상을 위한 고주파 초음파 트랜스듀서
- Abstract
- 고주파 초음파 트랜스듀서는 초음파 현미경(scanning acoustic microscopy)의 이미지 해상도를 결정하는 주요 구성 요소입니다. 초음파 현미경은 산업 분야의 반도체, PCB, 디스플레이 패널 등에서 비파괴 내부 미세 결함 검사 및 의료 분야의 일반 및 암조직을 결절하기 위한 생검에 사용됩니다. 정밀한 검사 및 진단을 위해 0.1mm 미만의 해상도를 가진 고해상도 이미징 기술의 필요성이 대두되고 있으며, 그 결과 고주파 초음파 트랜스듀서의 중요성이 높아지고 있습니다. 따라서 논문에서 고해상도 이미징을 위하여 압전 재료 ZnO를 사용한 100MHz 이상 고주파 초음파 트랜스듀서 개발 및 제조에 대하여 중점을 둡니다.
- Issued Date
- 2020
- Awarded Date
- 2020. 2
- Type
- Dissertation
- Publisher
- 부경대학교
- Affiliation
- 부경대학교 대학원
- Department
- 대학원 의생명기계전기융합공학협동과정
- Advisor
- 오정환
- Table Of Contents
- Chapter 1. Introduction 1
1.1 Basic ultrasonic principles 1
1.2 Design characteristics of ultrasonic transducer 5
Chapter 2. Material and methods 8
2.1 Piezoelectric material ZnO 8
2.2 Deposition of ZnO film 10
2.3 Fabrication 23
Chapter 3. Results 34
3.1 Frequency testing of ultrasonic transducer 34
3.2 Industrial imaging 43
3.3 Medical imaging 44
Chapter 4. Discussion 46
Chapter 5. Conclusion 47
References 48
- Degree
- Master
- Appears in Collections:
- 대학원 > 의생명기계전기융합공학협동과정
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