저전력 연엑스선 정전기 제거장치 개발에 관한 연구

Abstract

정전기 제거 장치는 FPD(Flat Panel Display) 산업, 반도체 산업, 고급 필름 산업 공정에서 정전기와 미세먼지를 제어하기 위해 필수적이다. 본 연구는 연X선 정전기 제거장치의 소비전력을 줄이는 것을 목적으로 한다.

선행 특허 연구 결과, 유사한 의료기기 기술의 전력소모 절감에 관한 논문이 일부 있다. 그러나 정전기 제거 장치의 전력 소모를 줄이는 것에 대한 연구가 필요하다.

본 연구는 특허 분석을 통해 관련 기술의 수준을 분석한다. 이를 바탕으로 고전압 발생장치와 2개의 연X선관을 직렬로 연결하여 다중 고전압을 인가하는 연X선 정전기 제거장치를 제안한다. 본 연구는 국제표준(IEC 61340-5)에 따라 정전기 전하 감쇠시간과 이온 밸런스를 측정하여 프로토타입의 정량적 성능을 평가하였다. 실증 데이터는 성능과 기능이 현재의 정전기 제거 장치보다 우수함을 보여준다. 그 결과 개발된 제품이 기존 정전기 제거 장치보다 적은 전력으로 동작함을 알 수 있다.