디스플레이 산업에서의 정전기관리 시스템 구축을 위한 기초 연구

Abstract

최근 LCD 공정에 있어서 정전기 제어 대책은 정전기 방전 및 부유 미립자 오염제어와 더불어 중요한 환경제어의 문제로 되고 있다. 특히 FPD 산업에 있어서 유리 기판 크기의 급속한 대형화에 의해 정전기 발생이 증가하여 정전기에 의한 미립자 오염과 정전기 방전에 의한 회로 소자의 손실 등 제품의 생산성과 품질을 저하시키는 큰 문제로 대두되고 있다. 이러한 정전기에 의한 제품 장해를 발생원인 별로 분류하면 정전기력에 의해 기인하는 것과 정전기 방전 혹은 전하의 급격한 이동에 기인하는 2가지로 분류 할 수 있다. 주로 제품의 제조 공정에서는 다음과 같은 장해를 일으키고 있다.1-2) ① 정전기력에 의한 장해 a. 미립자의 부착 b. 정전기력에 의한 제조품 자신의 흡착 c. 전자 궤도 장해 ② 정전기 방전, 급격한 전하 이동에 의한 장해 a. 미세회로 단선 b. 미세회로의 절연파괴 c. 방전에 따른 전자 노이즈 장해 이러한 정전기 방전 및 미립자 오염에 의한 생산 수율의 저하, 제품 품질 및 성능의 저하를 방지하기 위하여서는 설계단계에서부터 제품 포장, 수송 단계에 이르기 까지 계획적이고 지속적으로 전 공정에 대한 정전기 관리가 이루어 져야 하며, 또한 정기적인 정전기 환경 평가가 이루어 져야 한다. 일반적으로 정전기 환경 진단 평가에서 이루어지는 각 항목을 살펴보면 다음과 같다.3-7) a. 바닥피복재/시행 바닥의 측정 b. 의류의 시험 c. 신발의 시험 d. 포장재의 시험 e. 바닥과 신발에 의한 정전기 보호특성 시험 f. 포장재의 정전기 안전 시험 g. 이오나이저 성능 평가 시험 상기 기술한 시험 방법은 IEC 정전기 관리 규정인 IEC 61340에서 규정되어 있다. 현재 우리나라는 IEC 61340의 정전기 관리 규정을 따르고 있는 실정이나 그 기준이 모호한 부분이 많고 또한 급속히 발전해 가는 FPD 산업에서 그 세밀한 부분에 이르기 까지 충족해주지 못하는 것 또한 사실이다. 따라서 본 연구에서는 S社의 TFT-LCD 공정의 정전기 환경 진단 평가를 통하여 현 FPD 산업에 실제 적용 가능한 정전기 관리 기준을 마련하였고, FPD 공정에서의 대전전압을 관리하는 그 기준 설정과 방법을 제시하였다.

By this Study for the Establishment of Electrostatic Management System in the Display Industry, the electrostatic management standard for FPD industry was obtained and the control standard of static electricity generated in FPD major processes was also made. The results of this paper are as follow ; 1. It should be needed a Electrostatic Expert who can conduct the phenomenon in the process line to be focused on electrostatics from the first step to the last step on the electrostatic management system. 2. The electrostatic standard was established in the every process which is needed the electrostatic control in the plant. 3. It should be accomplished the electrostatic audit by the standard not to make any changed items without electrostatic control. 4. It is needed the study about electrostatic functions in the process immediately after basic electrostatic management was established in the plant. The management system was able to be used in any display-industry field if the standard proposed would be changed suitable for each industry.